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發(fā)布時間:2024-10-23作者來源:薩科微瀏覽:1165
在集電路的制造和測試過程中,CP測試(Chip Probing)和WAT測試(Wafer Acceptance Test)是兩個非常重要的測試環(huán)節(jié)。盡管它們都在晶圓(Wafer)階段進(jìn)行,但二者的目的、測試對象、測試內(nèi)容和作用是有顯著不同的。
一、整體概述:CP測試和WAT測試
我們可以把集成電路的制造過程比作一輛汽車的生產(chǎn)。汽車的制造涉及多個零部件的裝配和整車的檢測,而每個零部件的品質(zhì)至關(guān)重要。同樣的,集成電路的制造包括晶圓的加工、芯片的封裝和成品的檢驗。
WAT測試相當(dāng)于檢測汽車各個重要零件的品質(zhì),確保零部件在進(jìn)入總裝之前沒有問題。它專注于檢測晶圓上的特定測試圖形(Test Key),這些圖形不在最終的芯片中,但能夠反映整個制造過程中的工藝情況。
CP測試更像是對汽車發(fā)動機進(jìn)行的總成測試,確保所有的核心部件在出廠前已經(jīng)能夠正常運轉(zhuǎn)。它直接在晶圓上對每個芯片進(jìn)行電氣測試,挑出有問題的芯片并做修補,以提高成品的良率。
二、測試對象的區(qū)別
WAT測試的對象:WAT測試的對象并不是整個晶圓的所有芯片,而是晶圓上特定設(shè)計的測試圖形。這些測試圖形被稱為“測試鍵”或“Test Key”,位于晶圓上的劃片道(Scribe Line)中。它們不占用實際產(chǎn)品芯片的空間,但能反映出晶圓各個區(qū)域的制造工藝是否穩(wěn)定和達(dá)標(biāo)。
CP測試的對象:CP測試的對象是整個晶圓上每一個獨立的芯片(Die)。它在封裝前,對每個芯片的功能和基本電性參數(shù)進(jìn)行測試,挑出有缺陷的芯片并記錄下來。這類似于對每一個汽車發(fā)動機進(jìn)行單獨的運轉(zhuǎn)測試,確保在裝入車身之前一切正常。
三、測試目的的不同
WAT測試的目的是通過對特定測試圖形的電學(xué)參數(shù)測試,檢測制造過程的工藝情況,評估制造過程是否穩(wěn)定。WAT測試類似于汽車制造中的質(zhì)量監(jiān)控,確保在生產(chǎn)過程中每一個零件都是合格的。通過對這些“零件”的電學(xué)參數(shù)的監(jiān)控,工藝工程師能夠及時調(diào)整生產(chǎn)工藝,防止批量性缺陷的發(fā)生。
CP測試的目的則是對晶圓上每一個芯片進(jìn)行篩選,找出不合格的芯片并進(jìn)行修補或標(biāo)記。它的主要作用是減少后續(xù)封裝的成本,避免將有問題的芯片送入封裝階段。它更像是最終把控發(fā)動機品質(zhì)的環(huán)節(jié),確保每一個進(jìn)入下一步裝配的芯片都能夠達(dá)到基本的功能要求。
四、測試內(nèi)容的不同
WAT測試的內(nèi)容:WAT測試主要包括對一些基礎(chǔ)電學(xué)參數(shù)的測量,如閾值電壓(Vt)、電阻、電容、漏電流等。測試圖形的設(shè)計反映了工藝的各個方面,例如MOSFET的特性、導(dǎo)通電阻、寄生二極管等。這些參數(shù)能夠反映出工藝過程中的問題,是工藝質(zhì)量控制的重要依據(jù)。
CP測試的內(nèi)容:CP測試的內(nèi)容更加全面,除了對某些基礎(chǔ)電學(xué)參數(shù)的測量,還包括芯片的功能測試。根據(jù)不同芯片的設(shè)計,CP測試可能包括邏輯功能測試、存儲器讀寫測試、功率器件的大電流測試(有限制)等。CP測試主要使用探針卡(Probe Card)對晶圓上的芯片逐個進(jìn)行測試,找到有問題的芯片。
五、測試設(shè)備的不同
WAT測試設(shè)備:WAT測試通常使用的是特定的參數(shù)測試儀,它們能夠精確地測量測試圖形的電學(xué)特性。這些設(shè)備的精度要求很高,但測試電壓和功率一般較低。
CP測試設(shè)備:CP測試使用探針臺(Prober)和探針卡(Probe Card),通過探針與芯片的接觸,對芯片進(jìn)行電性測試。探針卡的設(shè)計和制作難度較高,因為它需要精確地接觸到每個芯片的測試點,同時要避免并行測試中的干擾問題。
六、測試時間點和作用的不同
WAT測試在晶圓完成所有的制造工序后進(jìn)行,是對制造工藝的一次“終點檢驗”。如果WAT測試不合格,這片晶圓就不能進(jìn)入下一步的CP測試和封裝環(huán)節(jié)。因此,WAT測試對于整個制造工藝的質(zhì)量把控起著至關(guān)重要的作用。
CP測試則是在WAT測試之后進(jìn)行的。它直接面向每個芯片,剔除掉有缺陷的芯片,同時記錄下合格的芯片進(jìn)行后續(xù)封裝。CP測試在整個制程中可以看作是一種半成品檢測,目的是監(jiān)控前道工藝的良率,避免封裝過多的壞芯片,降低后道的成本。
七、比喻總結(jié):WAT是整體工藝的“健康體檢”,CP是個體功能的“全面檢查”
我們可以將整個測試過程比作人體的體檢和康復(fù):
WAT測試類似于工廠在生產(chǎn)前對每一批原材料進(jìn)行“健康體檢”,目的是確保每一批次的原材料(晶圓)都是健康且符合標(biāo)準(zhǔn)的。如果原材料有問題,工廠將無法進(jìn)行后續(xù)的加工。
CP測試則像是對每一個獨立的“產(chǎn)品”進(jìn)行全面的“檢查和修復(fù)”,目的是挑出有問題的個體,并及時修補或剔除。這樣可以避免在后續(xù)的封裝階段因個體問題導(dǎo)致批量的返工或損失。
八、總結(jié)和思考
總的來說,WAT測試和CP測試盡管都是在晶圓階段進(jìn)行,但它們在測試對象、測試目的、測試內(nèi)容、測試設(shè)備和測試時機上都有明顯的區(qū)別。WAT測試專注于工藝的穩(wěn)定性和一致性,目的是從宏觀上確保每片晶圓的整體工藝質(zhì)量。CP測試則專注于每個獨立芯片的功能和電性表現(xiàn),目的是從微觀上剔除不合格的芯片,并修復(fù)可以修復(fù)的缺陷。
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