無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-209E里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，（公眾號：芯片智造）從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，（公眾號：芯片智造）如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室[敏感詞]塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，（公眾號：芯片智造）密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
隔間
萬級無塵室隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū), 千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower), 無塵室與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進入無塵室時,首先要經(jīng)過風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入無塵室的灰塵. （公眾號：芯片智造）傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果.
系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU系統(tǒng).
全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)
FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風(fēng)機和過濾器
千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%
冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).
一次側(cè)冰水水溫7-12度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).（公眾號：芯片智造）
一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.
干盤管:不結(jié)露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進干盤管的冰水溫度在12-14度.
濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,（公眾號：芯片智造）控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量
正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測的信號,自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風(fēng)量.
不只是空調(diào)系統(tǒng), 無塵室系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),
1.氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，（公眾號：芯片智造）這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。
3.室內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數(shù)器檢測。
4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，（公眾號：芯片智造）檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。
10.總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。
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