荷蘭政府近日宣布，計(jì)劃對(duì)制造先進(jìn)芯片的機(jī)器出口進(jìn)行額外限制。荷蘭對(duì)外貿(mào)易和發(fā)展合作大臣Liesje Schreinemacher致函立法者，概述了擬議的限制，這些限制是對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)現(xiàn)有出口管制的補(bǔ)充。

荷蘭部長(zhǎng)給議員的信表示，新的出口管制措施針對(duì)“荷蘭在半導(dǎo)體生產(chǎn)周期中具有獨(dú)特和領(lǐng)先地位的非常具體的技術(shù)，例如[敏感詞]的深紫外（DUV）浸沒(méi)式光刻和沉積”。荷蘭政府表示將在“夏季之前”發(fā)布新規(guī)定。

作為世界上[敏感詞]能生產(chǎn)極紫外線EUV的國(guó)家，荷蘭在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的地位不言而喻，此次限制出口EUV，一石激起千層浪，引發(fā)行業(yè)內(nèi)人士熱議。

首先說(shuō)說(shuō)宏觀層面中荷貿(mào)易現(xiàn)狀。

一方面，荷蘭從中國(guó)大量進(jìn)口貨物，電信行業(yè)尤其依賴中國(guó)。數(shù)據(jù)顯示，2015年，中國(guó)商品占荷蘭進(jìn)口總額的比重超過(guò)8%，2021年接近10%。留在荷蘭的中國(guó)產(chǎn)品要么由荷蘭公司進(jìn)一步加工，要么直接出售給荷蘭的家庭，主要涉及電腦、手機(jī)和家具。商務(wù)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示，2022年，我國(guó)與歐洲進(jìn)出口貿(mào)易額12314.57億美元，同比上漲4.56%，荷蘭排名第三，實(shí)現(xiàn)進(jìn)出口貿(mào)易額1302.11億美元，同比上漲11.77%。

另一方面，中國(guó)芯片設(shè)備高端依賴荷蘭。中國(guó)海關(guān)2022年10月進(jìn)口數(shù)據(jù)顯示，從荷蘭進(jìn)口半導(dǎo)體制造設(shè)備金額當(dāng)月超3億美元，較去年同期增長(zhǎng)逾100%，較9月份環(huán)比增長(zhǎng)近150%。而自美國(guó)、日本進(jìn)口設(shè)備金額當(dāng)月同比及環(huán)比均有所下降，外媒分析稱這一變化或主要由對(duì)ASML光刻設(shè)備的需求推動(dòng)。

無(wú)論從哪一方面，我們都可以看出荷蘭的貿(mào)易與中國(guó)的貿(mào)易日益交織在一起。此次荷蘭迫于壓力限制DUV出口，其實(shí)是兩敗俱傷的事情。

結(jié)合ASML財(cái)報(bào)也可以看出，ASML 在 2022 年的中國(guó)銷售額為 21.6 億歐元，占其總收入的 14%，這是該公司僅次于中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)的第三大市場(chǎng)。從ASML立場(chǎng)來(lái)說(shuō)，企業(yè)生存的[敏感詞]要義是獲利，面對(duì)如此大的市場(chǎng)份額，自然是不愿放棄。

而具體至被限制出口的DUV設(shè)備，ASML在近期的公告指出附加的出口管制并不涉及所有的浸入式光刻設(shè)備，而只涉及所謂的 一些“[敏感詞]”的設(shè)備（ASML暫未收到任何關(guān)于先進(jìn)設(shè)備的定義）。ASML指出，此次出口管制主要涉及其TWINSCAN NXT:2000i極其之后的浸沒(méi)式設(shè)備將會(huì)受到出口限制。

目前ASML在售的浸沒(méi)式光刻機(jī)主要有三大型號(hào)：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。根據(jù)ASML的解讀，其2000i及之后的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)將會(huì)受到出口限制。這也意味著，TWINSCAN NXT:1980Di 仍將可以出口。

NXT:1980Di 雖然分辨率在38nm左右，但是通過(guò)多重曝光，依然可以支持到7nm左右。只不過(guò)，這樣步驟更為復(fù)雜，成本更高，良率可能也會(huì)有損失。因此對(duì)于現(xiàn)今依賴ASML DUV設(shè)備的國(guó)內(nèi)廠商而言，短期影響不大。

但從長(zhǎng)期來(lái)看，我們不能掉以輕心。從本質(zhì)上來(lái)說(shuō)，荷蘭此次限制DUV出口，與美國(guó)一直以來(lái)對(duì)華半導(dǎo)體政策有關(guān)，美國(guó)的一系列政策，猶如溫水煮青蛙，過(guò)去一年來(lái)漸熱式的烹煮，重創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體自主化大計(jì)，這些影響并不是立竿見(jiàn)影的，但是是漫長(zhǎng)的，侵入式的，一點(diǎn)點(diǎn)蠶食的。從最開(kāi)始限制應(yīng)用材料（Applied Materials）、科林研發(fā)（Lam Research）、科磊（KLA）等本土廠商。緊接著連荷蘭、日本也一起拖下水，讓中國(guó)也無(wú)法與[敏感詞]供應(yīng)EUV的荷蘭ASML、日本東京威力科創(chuàng)（TEL）等進(jìn)一步合作。

值得注意的是，由于半導(dǎo)體供需市況于2022年第2季度起急速反轉(zhuǎn)，導(dǎo)致多家晶圓代工廠、存儲(chǔ)器廠也都大幅削減資本支出，如今美國(guó)對(duì)國(guó)內(nèi)限制力道再加大，完全讓近年來(lái)受益于半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化、晶圓廠百花齊發(fā)大單的全球半導(dǎo)體設(shè)備廠營(yíng)收受挫。

而聚焦到中國(guó)設(shè)備廠商的發(fā)展，其實(shí)早在2006年，國(guó)家就提出了針對(duì)集成電路發(fā)展的重點(diǎn)項(xiàng)目“02專項(xiàng)”，這個(gè)項(xiàng)目始于2006年國(guó)務(wù)院發(fā)布的——《國(guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》，是《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項(xiàng)目的簡(jiǎn)稱。因次序排在國(guó)家重大專項(xiàng)所列16個(gè)重大專項(xiàng)第二位，因此在行業(yè)內(nèi)被稱為“02專項(xiàng)”，具體內(nèi)容是在“十二五”期間，國(guó)家重點(diǎn)進(jìn)行45-22納米關(guān)鍵制造裝備攻關(guān)，開(kāi)發(fā)32-22納米互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）工藝、90-65納米特色工藝，開(kāi)展22-14納米前瞻性研究，形成65-45納米裝備、材料、工藝配套能力及集成電路制造產(chǎn)業(yè)鏈，進(jìn)一步縮小與世界先進(jìn)水平差距，裝備和材料占國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的份額分別達(dá)到10%和20%，開(kāi)拓國(guó)際市場(chǎng)。

這意味著，在很早之前國(guó)家就已經(jīng)開(kāi)始布局了國(guó)產(chǎn)設(shè)備。那么經(jīng)過(guò)十幾年的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的現(xiàn)狀究竟呈現(xiàn)出了怎樣的局面？

 數(shù)據(jù)顯示，2021年，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入為385.7億元人民幣，在中國(guó)大陸市場(chǎng)占有率為19.6%，全球市場(chǎng)占有率不到5.65%；進(jìn)口金額為170.5億美元（約1150.2億人民幣）。其中，進(jìn)口最多的為等離子干法刻蝕機(jī)（1947臺(tái)）和化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD，1965臺(tái)），而備受關(guān)注的光刻機(jī)在2021年進(jìn)口數(shù)為406臺(tái)。

可以看出國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備基本擺脫完全受制于人的局面，但國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商目前仍然只是“點(diǎn)”的突破，尚未實(shí)現(xiàn)“面”的普及，缺乏成套設(shè)備的供應(yīng)，設(shè)備的精度也不夠，只能滿足中低端芯片的生產(chǎn)，難以打入高端芯片生產(chǎn)線。尤其是如光刻機(jī)等“卡脖子”等關(guān)鍵設(shè)備研發(fā)尚未有明顯進(jìn)展，在實(shí)際產(chǎn)線應(yīng)用中的國(guó)產(chǎn)率基本為0。

面對(duì)此種現(xiàn)狀，業(yè)界言論眾多。拋開(kāi)那些缺乏客觀公正的貶低之詞以及盲目樂(lè)觀的吹捧之語(yǔ)，我們關(guān)注到，“彎道超車”成為業(yè)界討論的焦點(diǎn)。這個(gè)觀點(diǎn)的支撐點(diǎn)在于當(dāng)大家都在一條起跑線時(shí)，中國(guó)制造就可以己之長(zhǎng)、攻彼之短，典型如汽車，在燃油車時(shí)代，由于發(fā)動(dòng)機(jī)和變速箱的技術(shù)差距，國(guó)產(chǎn)汽車追了30余年也難以湊到外資汽車的牌桌前，但電動(dòng)汽車時(shí)代來(lái)臨后，國(guó)產(chǎn)汽車就可以和外資汽車平等坐到牌桌前。

這個(gè)邏輯放到設(shè)備里是否也是如此呢？答案是不盡然。

首先來(lái)說(shuō)，設(shè)備的發(fā)展程度和汽車的發(fā)展程度在今日的中國(guó)并不能完全劃等號(hào)。新中國(guó)成立以后，中國(guó)汽車產(chǎn)業(yè)就已經(jīng)得以建立和發(fā)展，而對(duì)于光刻機(jī)設(shè)備業(yè)的關(guān)注，從時(shí)間上來(lái)說(shuō)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)夠不上汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展的時(shí)間。

一個(gè)事物再怎么發(fā)展，它總是逃不過(guò)基本規(guī)律。需要多長(zhǎng)的時(shí)間可能可以通過(guò)技術(shù)的超越得以縮減，但一下子一蹴而就，這很明顯不符合常規(guī)。

其次，從芯片行業(yè)特性來(lái)分析。我們可以發(fā)現(xiàn)其實(shí)芯片和北斗衛(wèi)星一樣，零件非常多，工藝較為復(fù)雜，一個(gè)零件一道工藝不合格，整個(gè)系統(tǒng)就不能用?，F(xiàn)今在芯片產(chǎn)業(yè)，芯片產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)率僅為15%，其余半導(dǎo)體代工廠可量產(chǎn)工藝皆在28nm及以上。而全流程全國(guó)產(chǎn)化，當(dāng)下極限就是90nm。

從這個(gè)維度上來(lái)說(shuō)，芯片的自主可以參考北斗的自主發(fā)展歷程，中國(guó)北斗的全方位獨(dú)立更生，從北斗實(shí)驗(yàn)衛(wèi)星、北斗一代、二代、三代再到北斗全球，時(shí)間跨度20年，沒(méi)有任何投機(jī)取巧，不驕不躁，一步一個(gè)腳印，才有了現(xiàn)在的成就。芯片的自主也無(wú)任何速成法可言，可以先從基礎(chǔ)光源的光刻機(jī)立項(xiàng)，把所有國(guó)產(chǎn)的軟件設(shè)備拉一起，先跑起來(lái)，哪個(gè)設(shè)備不行立刻進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，先把90nm線跑通。在這套基礎(chǔ)上，逐步升級(jí)，到65nm、45nm、28nm。不問(wèn)時(shí)間，不催進(jìn)度，在整個(gè)行業(yè)舉力攻關(guān)的同時(shí)，發(fā)揮市場(chǎng)的作用，強(qiáng)制給這些產(chǎn)線留一些市場(chǎng)份額，國(guó)家再補(bǔ)貼一部分，保住成本。這樣攻關(guān)之下，本土28nm全自主即使推出之日已經(jīng)落后于國(guó)際市場(chǎng)也意義非常巨大，能保證[敏感詞]情況下整個(gè)國(guó)家不會(huì)出現(xiàn)大的混亂，即使歐美全部切斷聯(lián)系，國(guó)內(nèi)能實(shí)現(xiàn)基本運(yùn)轉(zhuǎn)。

此次荷蘭限制DUV出口，一方面，國(guó)產(chǎn)化的艱難性擺在大眾眼前，另一方面，市場(chǎng)似乎對(duì)于一系列的外圍措施感到麻木，在股市大肆鼓吹國(guó)產(chǎn)化概念及進(jìn)展。這樣的現(xiàn)狀不得不引人深思。其實(shí)，越是受到追捧，越是市場(chǎng)環(huán)境利好，越是大家覺(jué)得重要，行業(yè)自己越是要謙虛謹(jǐn)慎、戒驕戒躁。國(guó)產(chǎn)化突破，這件事本身就意味著困難與挑戰(zhàn)，外有重重限制，如果在內(nèi)部，仍不能腳踏實(shí)地，而是追逐資本與發(fā)展速度，那么看上去再固若金湯的城池也可能因?yàn)槲浵伒目惺扯浪?，根本都無(wú)需外部的攻擊。而發(fā)展道路上，形成自己的核心實(shí)力，逐步實(shí)現(xiàn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)化，這個(gè)是硬道理、是本質(zhì)需求、也是是否能擁有成功未來(lái)的關(guān)鍵。


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