近日，美國(guó)在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)θA的高科技發(fā)展限制再度加碼：據(jù)日本共同社2月4日?qǐng)?bào)道，日本政府將于今年春季開始限制向華出口制造先進(jìn)半導(dǎo)體所需的設(shè)備。

路透社此前報(bào)道稱，日本和美國(guó)、荷蘭三國(guó)政府已就限制向華出口先進(jìn)芯片制造設(shè)備達(dá)成協(xié)議。日本此次的“春季限令”被認(rèn)為是協(xié)議的佐證，或因?yàn)閰f(xié)議的敏感性，目前協(xié)議中提及的三國(guó)政府并沒有公開對(duì)華芯片設(shè)限制的具體內(nèi)容，協(xié)議中的三方中，除了美國(guó)，其余兩國(guó)也并沒有直接承認(rèn)該協(xié)議的存在。

業(yè)內(nèi)猜測(cè)，種種跡象表明，該協(xié)議確實(shí)存在，協(xié)議中的所謂“可生產(chǎn)先進(jìn)技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備”很可能指的是可用于生產(chǎn)14nm及以下的半導(dǎo)體設(shè)備。因?yàn)?/span>“14nm”是美國(guó)當(dāng)前向我國(guó)禁售技術(shù)的限制節(jié)點(diǎn)，日本和荷蘭或沿用此標(biāo)準(zhǔn)。

早在2022年10月，美國(guó)正式出臺(tái)了限制芯片制造裝備和相關(guān)技術(shù)對(duì)華出口的禁令，當(dāng)時(shí)就有報(bào)道指出美方要求在芯片制造設(shè)備等方面具有優(yōu)勢(shì)的日本和荷蘭“追隨”。

如果說，當(dāng)時(shí)還有部分產(chǎn)業(yè)人士對(duì)日本和荷蘭是否會(huì)跟進(jìn)這一協(xié)議心存疑慮，那日本的“春季限令”已經(jīng)明確了“跟進(jìn)”態(tài)度。荷蘭方面暫時(shí)沒有宣布新的“限令”，可實(shí)際上，我國(guó)廠商向荷蘭ASML訂購可用于5nm及以下制程的芯片生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)至今仍沒有發(fā)貨。中芯國(guó)際在2018年向ASML訂購了一臺(tái)[敏感詞]型的EUV光刻機(jī)，當(dāng)時(shí)價(jià)值高達(dá)1.5億美元，原計(jì)劃在2019年初交付。

日本和荷蘭對(duì)美國(guó)“限令”的附和，意味著未來很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)，我國(guó)很難從海外半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中順利進(jìn)口先進(jìn)設(shè)備。因?yàn)檫@三國(guó)牢牢把控了半導(dǎo)體先進(jìn)設(shè)備的技術(shù)和產(chǎn)品的主要供應(yīng)，這點(diǎn)在全球半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收數(shù)據(jù)中可體現(xiàn)。

CINNO Research統(tǒng)計(jì)結(jié)果表明，2022年上半年，全球半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)TOP10分別為應(yīng)用材料(Applied materials)、阿斯麥爾(ASML)、泛林半導(dǎo)體(Lam research)、東電電子(Tokyo Electron)、科磊(KLA)、斯科半導(dǎo)體(SCREEN)、愛德萬測(cè)試(Advantest)、日立高科(Hitachi High-Tech)、ASM國(guó)際(ASM International)、迪斯科(Disco)。

圖源：CINNO Research

芯師爺梳理發(fā)現(xiàn)，2022年上半年十大半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中，有3家美國(guó)企業(yè)，5家日本企業(yè)，2家荷蘭企業(yè)。一段時(shí)間內(nèi)十大半導(dǎo)體設(shè)備營(yíng)收排名偶有波動(dòng)，不過均為美國(guó)、日本和荷蘭三國(guó)的企業(yè)。

由此，如果三國(guó)同時(shí)宣布限制對(duì)華輸出先進(jìn)技術(shù)和設(shè)備，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將陷入先進(jìn)設(shè)備求購無門的困境。這在當(dāng)前基本成為現(xiàn)實(shí)。DigiTimes近日?qǐng)?bào)道指出我國(guó)“晶圓代工廠和 IDM 似乎購買了幾乎所有對(duì)其擴(kuò)張或維持當(dāng)前產(chǎn)線運(yùn)營(yíng)有用的生產(chǎn)設(shè)備”，以應(yīng)對(duì)海外國(guó)家日趨嚴(yán)格的出口禁令。

海外半導(dǎo)體設(shè)備出口政策正被熱議，國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備自主化程度也受到持續(xù)關(guān)注。

資料顯示，芯片的制造過程可以分為前道工藝和后道工藝。前道芯片制造主要包括六大工藝步驟，分別為：熱處理（Thermal Process）、光刻（Photo-lithography）、刻蝕（Etch）、離子注入 （Ion Implant）、薄膜沉積（Deposition）、機(jī)械拋光（CMP），所對(duì)應(yīng)的專用設(shè)備主要包括快速熱處理（RTP）/氧化/擴(kuò)散設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕/去膠設(shè)備、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、機(jī)械拋光設(shè)備等。后道封裝測(cè)試工序和相應(yīng)設(shè)備包括減薄、劃片、測(cè)試、分選等。

其中光刻機(jī)、刻蝕機(jī)設(shè)備、氣相沉積設(shè)備是三大核心半導(dǎo)體設(shè)備，占據(jù)了產(chǎn)線設(shè)備總投資額70%。

近年來，隨著美國(guó)對(duì)華半導(dǎo)體制裁升級(jí)，為保障供應(yīng)鏈安全國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈也在持續(xù)推動(dòng)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提速。

德邦證券指出，從細(xì)分設(shè)備來看，2022年上半年國(guó)產(chǎn)化率高于 30%的有去膠、清洗、刻蝕、 CMP等設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率在 10%~30%的有涂膠顯影、薄膜沉積、熱處理、量測(cè)等設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率低于10%的有離子注入、光刻設(shè)備。

業(yè)內(nèi)人士指出，其中去膠設(shè)備的國(guó)產(chǎn)率已達(dá)90%以上，而光刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)率較低，研發(fā)進(jìn)展也慢，上海微電子是我國(guó)[敏感詞]可量產(chǎn)光刻機(jī)的企業(yè)，其90nm DUV 光刻機(jī)在2016年已經(jīng)通過驗(yàn)收，但45nm、28nm 光刻機(jī)等在研發(fā)過程中，需等待突破。

資料顯示，在半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，我國(guó)有這些企業(yè)正活躍其中，以尋求更多的技術(shù)自主與突破，逐步緩解我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的供應(yīng)焦慮。

圖：全球主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商；制圖：浙商證券研究所

資料來源：semi，屹唐股份招股說明書，浙商證券研究所

北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地，營(yíng)銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國(guó)家和地區(qū)。

中微公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司是一家以中國(guó)為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司，為集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。中微開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。

拓荊科技

拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個(gè)產(chǎn)品系列，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓制造，以及TSV封裝、光波導(dǎo)、Micro-LED、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。

盛美上海

盛美專注于對(duì)先進(jìn)集成電路制造、先進(jìn)晶圓級(jí)封裝制造及大硅片制造領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過向半導(dǎo)體芯片制造商提供高性能、低消耗的工藝解決方案，致力于提升客戶的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率

至純科技

至純科技，成立于2000年，致力于為高端先進(jìn)制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案。系統(tǒng)解決方案涵蓋了提供整個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)。我們提供的系統(tǒng)和專業(yè)服務(wù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED等領(lǐng)域。 

芯源微

沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年，公司所開發(fā)的涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域。可滿足300mm前道制程及300mm先進(jìn)封裝厚膠工藝制程。

屹唐半導(dǎo)體

北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱“屹唐半導(dǎo)體”）主要為全球集成電路芯片制造廠商提供干法去膠、干法刻蝕、快速熱處理、毫秒級(jí)退火等設(shè)備及應(yīng)用解決方案，其中干法去膠、快速熱處理、毫秒級(jí)退火設(shè)備在各自細(xì)分領(lǐng)域的市場(chǎng)份額均處于世界前列，主要客戶涵蓋全球主要芯片制造廠商。公司在全球范圍內(nèi)擁有超過300多項(xiàng)專利，全球設(shè)備裝機(jī)量超過3700臺(tái)。

華海清科

華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，公司主要產(chǎn)品包括CMP設(shè)備、減薄設(shè)備、供液系統(tǒng)、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)，初步實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品+服務(wù)的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局。

公司主要產(chǎn)品及服務(wù)已廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、大硅片、第三代半導(dǎo)體、MEMS、Micro LED等制造工藝。

精測(cè)電子

武漢精測(cè)電子集團(tuán)股份有限公司，創(chuàng)立于2006年4月，是一家致力于為半導(dǎo)體、顯示以及新能源等測(cè)試領(lǐng)域提供卓越產(chǎn)品和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

公司經(jīng)營(yíng)范圍包括：平面顯示技術(shù)的研發(fā)；液晶測(cè)試系統(tǒng)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器測(cè)試系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)測(cè)控系統(tǒng)集成、機(jī)電自動(dòng)化設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)；太陽能、鋰電池及其它新能源測(cè)試系統(tǒng)、電源測(cè)試系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)；芯片設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)；貨物及技術(shù)進(jìn)出口（國(guó)家禁止或限制進(jìn)出口的貨物及技術(shù)除外）；電子產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售等。

長(zhǎng)川科技

杭州長(zhǎng)川科技股份有限公司成立于2008年4月，是一家致力于提升我國(guó)集成電路專用裝備技術(shù)水平、積極推動(dòng)集成電路裝備業(yè)升級(jí)的高新技術(shù)企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品包括測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)、AOI設(shè)備和自動(dòng)化設(shè)備。2017年深交所上市。

萬業(yè)企業(yè)

上海萬業(yè)企業(yè)股份有限公司，成立于1991年10月，是一家具有新興產(chǎn)業(yè)基因的高科技上市公司。2018年，萬業(yè)企業(yè)成功收購上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司，正式進(jìn)入集成電路四大核心裝備之一的離子注入機(jī)領(lǐng)域。2021年，萬業(yè)企業(yè)攜手半導(dǎo)體領(lǐng)域人士共同成立嘉芯半導(dǎo)體，業(yè)務(wù)將覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等多款集成電路核心前道設(shè)備，疊加原有的離子注入機(jī)業(yè)務(wù)形成“1+N”產(chǎn)品平臺(tái)模式，多方位布局半導(dǎo)體核心設(shè)備賽道。

華峰測(cè)控

北京華峰測(cè)控技術(shù)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華峰測(cè)控”），作為國(guó)內(nèi)最早進(jìn)入半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備行業(yè)的企業(yè)之一，已在行業(yè)深耕近三十年， 始終聚焦于模擬和混合信號(hào)測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域。

華峰測(cè)控目前已成為國(guó)內(nèi)前三大半導(dǎo)體封測(cè)廠商模擬測(cè)試領(lǐng)域的主力測(cè)試平臺(tái)供應(yīng)商，擁有著上百家集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)客戶資源，同時(shí)也與超過三百家以上的集成電路設(shè)計(jì)企業(yè)保持著緊密的業(yè)務(wù)合作關(guān)系。截至2022年7月底，華峰測(cè)控產(chǎn)品全球累計(jì)裝機(jī)量突破5000臺(tái)。

凱世通

上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司，成立于2009年，是一家以離子束技術(shù)為核心的集科研、制造于一體的高科技企業(yè)，主要研制、生產(chǎn)、再制造和銷售高端離子注入機(jī)，重點(diǎn)應(yīng)用于光伏太陽能電池，新型平板顯示，和半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域。

晶亦精微科技（爍科精微電子）

北京晶亦精微科技股份有限公司是由北京爍科精微電子裝備有限公司（爍科精微）整體變更發(fā)起設(shè)立的股份有限公司。主營(yíng)集成電路核心裝備CMP產(chǎn)品。

北京中科信

北京中科信電子裝備有限公司成立于2003年（以下簡(jiǎn)稱“北京中科信”），是電科裝備的全資子公司。中科信是一家專業(yè)從事離子注入機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、制造和銷售，以及光伏系列產(chǎn)品生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。

通過多年的努力攻關(guān)，公司在離子注入機(jī)整機(jī)研制水平、工程制造能力、系統(tǒng)集成能力、工藝調(diào)試與維護(hù)體系等方面得到大幅提升，并建設(shè)了離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化平臺(tái)。同時(shí)自身實(shí)力的提升促使向其他運(yùn)用領(lǐng)域拓展，如IGBT工藝用離子注入機(jī)、碳化硅工藝用離子注入機(jī)、電池工藝用離子注入機(jī)等。