在晶體管發(fā)明 75 周年之際，我想回答兩個問題：世界需要更好的晶體管嗎？如果是這樣，他們會是什么樣子？

我會爭辯說，是的，我們將需要新的晶體管，而且我認(rèn)為我們今天已經(jīng)有了一些關(guān)于它們會是什么樣子的暗示。問題在于我們是否有意愿和經(jīng)濟能力去制造它們。

我相信晶體管現(xiàn)在是并將繼續(xù)是應(yīng)對全球變暖影響的關(guān)鍵。氣候變化可能會給社會、經(jīng)濟和個人帶來巨變，因此需要能夠賦予我們?nèi)祟惛竽芰Φ墓ぞ摺?

半導(dǎo)體可以像其他技術(shù)一樣提高人類的能力。根據(jù)定義，所有技術(shù)都可以提高人類的能力。但對他們中的大多數(shù)人來說，自然資源和能源的限制使得數(shù)量級的改善值得懷疑?；诰w管的技術(shù)是一個獨特的例外，原因如下：

我們將如何繼續(xù)改進晶體管技術(shù)在短期內(nèi)是相對清楚的，但離今天越遠(yuǎn)，它就會變得越模糊。在短期內(nèi)，您可以通過查看最近的過去來瞥見晶體管的未來。

從 1960 年到 2010 年左右，基本的平面 (2D) MOSFET 結(jié)構(gòu)一直保持不變，直到進一步增加晶體管密度和降低器件功耗變得不可能。我（代表本文作者胡正明）在加州大學(xué)伯克利分校的實驗室早在十多年前就看到了這一點。我們在 1999 年報道了平面晶體管的后繼者 FinFET 的發(fā)明。FinFET 作為[敏感詞]個 3D MOSFET，將扁平而寬的晶體管結(jié)構(gòu)變?yōu)楦叨木w管結(jié)構(gòu)。好處是在更小的占地面積內(nèi)獲得更好的性能，就像在擁擠的城市中多層建筑相對于單層建筑的優(yōu)勢一樣。

FinFET 也就是所謂的薄體（thin-body）MOSFET，這一概念繼續(xù)指導(dǎo)新設(shè)備的開發(fā)。它源于這樣一種認(rèn)識，即電流不會通過硅表面幾納米內(nèi)的晶體管泄漏，因為那里的表面電勢受到柵極電壓的良好控制。FinFET 牢記這種薄體概念。該器件的主體是垂直的硅鰭片，被氧化物絕緣體和柵極金屬覆蓋，在強柵極控制范圍之外沒有留下任何硅。FinFET 將漏電流降低了幾個數(shù)量級，并降低了晶體管工作電壓。它還指出了進一步改進的路徑：進一步降低車身厚度。

FinFET 的鰭片隨著每個新的技術(shù)節(jié)點變得越來越薄和越來越高。但這種進步現(xiàn)在變得難以維持。因此業(yè)界正在采用一種新的 3D 薄體 CMOS 結(jié)構(gòu)，稱為環(huán)柵 (GAA)。在這種新結(jié)構(gòu)上，一堆半導(dǎo)體帶構(gòu)成了薄體（a stack of ribbons of semiconductor make up the thin body）。

MOSFET 結(jié)構(gòu)的每一次演變都旨在通過柵極 [粉紅色] 更好地控制硅中的電荷。電介質(zhì) [[敏感詞]] 防止電荷從柵極移動到硅體 [藍色]。

3D 薄體趨勢將從這些 3D 晶體管延續(xù)到 3D 堆疊晶體管、3D 單芯片（Monolithic）電路和多芯片封裝。在某些情況下，這種 3D 趨勢已經(jīng)達到了[敏感詞]。例如，電荷陷阱（charge-trap）存儲器晶體管陣列的規(guī)律性使 NAND 閃存成為[敏感詞]個從 2D 電路過渡到 3D 電路的 IC。自 2007 年東芝首次報告 3D NAND 以來，堆疊層數(shù)已從 4 層增長到超過 200層。

單芯片 3D 邏輯 IC 可能會適度起步，堆疊 CMOS 反相器的兩個晶體管以減少所有邏輯門的“占地面積”。但是堆棧的數(shù)量可能會增加。通往 3D IC 的其他途徑可能采用將額外的半導(dǎo)體薄膜層（例如硅、硅鍺或砷化銦鎵）轉(zhuǎn)移或沉積到硅晶片上。

薄體趨勢可能會在二維半導(dǎo)體中達到其最終終點，其厚度以原子為單位。例如，二硫化鉬分子（Molybdenum disulfide molecules）既天然又薄又相對較大，形成可能不超過三個原子寬但具有非常好的半導(dǎo)體特性的二維半導(dǎo)體。2016 年，加利福尼亞州和德克薩斯州的工程師使用二維半導(dǎo)體分子二硫化鉬和碳納米管薄膜展示了具有關(guān)鍵尺寸的 MOSFET：柵極長度僅為 1 納米。即使柵極短至 1 nm，晶體管漏電流也僅為每毫米 10 毫微安，可與當(dāng)今[敏感詞]的生產(chǎn)晶體管相媲美。

可以想象，在遙遠(yuǎn)的未來，整個晶體管可能被預(yù)制為一個分子（molecule）。這些預(yù)制構(gòu)件可能會通過稱為定向自組裝 (DSA：directed-self-assembly) 的制程被帶到它們在 IC 中的精確位置。要理解 DSA，回顧一下 COVID 病毒使用其尖峰來尋找并化學(xué)?？吭谔囟ㄈ祟惣?xì)胞表面的確切位置可能會有所幫助。在 DSA 中，對接點（docking spots）、“尖峰”（spikes）和晶體管cargo都是經(jīng)過精心設(shè)計和制造的。最初的對接點（docking spots）可以通過在基板上進行光刻來創(chuàng)建，但是額外的對接點（docking spots）可能會在后續(xù)步驟中作為 cargo 引入。如果僅在制造過程中需要而在最終產(chǎn)品中不需要，則可以通過加熱或其他方式去除一些 cargo 。

除了使晶體管更小之外，我們還必須不斷降低它們的功耗。在這里，我們可以看到通過使用所謂的負(fù)電容場效應(yīng)晶體管 (NCFET：negative-capacitance field-effect transistors) 實現(xiàn)了數(shù)量級的減少。這些需要在 MOSFET 的柵極堆疊中[敏感詞]納米薄的鐵電材料層，例如氧化鉿鋯（hafnium zirconium oxide）。由于鐵電體包含自己的內(nèi)部電場，因此打開或關(guān)閉設(shè)備所需的能量更少。薄鐵電體的另一個優(yōu)點是可以利用鐵電體的容量來存儲其電場狀態(tài)，從而將存儲和計算集成在同一設(shè)備中。

作者 [左] 于 2016 年獲得巴拉克奧巴馬總統(tǒng) [右] 頒發(fā)的美國國家技術(shù)與創(chuàng)新獎?wù)?/span>

在某種程度上，我所描述的設(shè)備是從現(xiàn)有趨勢中產(chǎn)生的。但未來的晶體管可能與今天的晶體管具有截然不同的材料、結(jié)構(gòu)和工作機制。例如，納米機電開關(guān)（nanoelectromechanical switch）是對過去幾十年機械繼電器的回歸，而不是晶體管的延伸。它不依賴于半導(dǎo)體物理學(xué)，而是僅使用金屬、電介質(zhì)以及施加不同電壓的緊密間隔的導(dǎo)體之間的力。

所有這些例子都在幾年前用實驗證明了。然而，與以往的半導(dǎo)體技術(shù)突破相比，將它們投入生產(chǎn)需要更多的時間和精力。

我們能否實現(xiàn)這些壯舉？過去的一些教訓(xùn)表明我們可以。

[敏感詞]個教訓(xùn)是晶體管技術(shù)的進步并不平坦或順利。1980 年前后，每顆芯片的功耗上升到了令人痛苦的地步。采用 CMOS、取代 NMOS 和雙極技術(shù)后——工作電壓從 5 伏逐漸降低到 1 伏——為該行業(yè)帶來了 30 年或多或少的直截了當(dāng)?shù)倪M步。但是，功耗再次成為一個問題。2000 年至 2010 年間，有思想的研究人員預(yù)測每平方厘米 IC 產(chǎn)生的熱量很快就會達到核反應(yīng)堆堆芯的熱量。3D薄體FinFET和多核處理器架構(gòu)的采用避免了危機，迎來了又一個相對平穩(wěn)的發(fā)展時期。

晶體管技術(shù)的發(fā)展史可謂一座座山峰攀登。只有當(dāng)我們到達一座山頂時，我們才能看到遠(yuǎn)處的景色，并繪制出一條路線來攀登下一座更高更陡的山峰。

第二個教訓(xùn)是，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心力量——納米加工——非常強大。歷史證明，只要有足夠的時間和經(jīng)濟激勵，只要該想法不違反科學(xué)規(guī)律，該行業(yè)就能夠?qū)⑷魏蜗敕ㄗ優(yōu)楝F(xiàn)實。

但該行業(yè)是否有足夠的時間和經(jīng)濟激勵來繼續(xù)攀登更高更陡峭的山峰并不斷提高人類的能力？

這是一個公平的問題。隨著晶圓廠行業(yè)資源的增長，技術(shù)發(fā)展的山峰增長得更快。終有一天，沒有一家晶圓廠公司能夠登上山頂，看清前方的道路。那么會發(fā)生什么？

所有半導(dǎo)體晶圓廠（包括獨立的和像英特爾這樣的綜合性公司）的收入約占半導(dǎo)體行業(yè)收入的三分之一。但晶圓廠僅占半導(dǎo)體技術(shù)所帶來的 IT、電信和消費電子行業(yè)總收入的 2%。然而，晶圓廠行業(yè)承擔(dān)著發(fā)現(xiàn)、生產(chǎn)和營銷新晶體管和納米制造技術(shù)的大部分重?fù)?dān)，這需要改變了。

為了讓該行業(yè)生存，晶圓廠行業(yè)相對貧乏的資源必須優(yōu)先考慮晶圓廠建設(shè)和股東需求，而不是科學(xué)探索。雖然晶圓廠行業(yè)正在延長其研究時間范圍，但它也需要其他人來承擔(dān)責(zé)任。人類長期解決問題的能力值得有針對性的公眾支持。該行業(yè)需要長期探索性研究的幫助，公共資助，在類似貝爾實驗室的環(huán)境中，或者由大學(xué)研究人員提供，這些研究人員具有長期的職業(yè)生涯，并且在物理、化學(xué)、生物學(xué)和算法方面的知識比企業(yè)研究更廣泛和更深入目前允許。

這樣，人類將繼續(xù)尋找新的晶體管，并獲得應(yīng)對未來幾個世紀(jì)挑戰(zhàn)所需的能力。